气体质量流量控制器原理关于MFC 和MFM
1． 质量流量计，质量流量控制器的概念
质量流量计，即Mass Flow Meter (MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
2． 质量流量计，质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM (Standard Liter per Minute) 来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM 不同于Ml/min、L/min 之处。如果需要单位时间内流过的质量（如g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。
3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点
（1） 直接测量气体的质量流量
热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无
需进行换算。（2） 无可移动部分
本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。
（3） 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
（4） 测量控制的自动化
质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
（5） 精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。
（6） 准确度高，重复性好
我们的产品准确度可达+-1%F.S（full scale）重复性为＋-0.25%F.S（full scale）
（7） 体积小巧，安装方便，操作简单
（8） 技术先进，符合发展潮流
4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题
（1）被测气体需要清洁。
注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。
（2）我公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算
5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合
一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。
6．不同气体的质量流量的换算
产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC 测量不同的气体，当流量检测值相同时， 实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之，在确定所购产品的量程时， 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。
7. MFC/MFM 适用范围
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPA；本公司MFC/MFM 可以适用于很多气体介质（包括一些腐蚀性的气体，如三氧化硼，三氯化硼，氯化氢，氟化氢等等）有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~5sccm，最大流量范围可达0~120slpm。流量控制范围是满程的2~100%（量程比为50：1），在很多的领域得到广泛的应用。
8. 部分常用单位
1000sccm 等於1 liter 30slpm = 30 liters(公升)
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方m = minute(分鐘)
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
Sccm：标准毫升/分slpm：标准升/分
9. 标定的不同气体的换算方法
本气体质量流量计出厂通常以N2 标定，如使用其他气体标定，请在订货时与销售人员特别提出。
